干涉仪的工作原理以及我们如何节省时间和金钱

在相位转移干涉仪（PSI）中，使用机械振荡与测试表面相称地移动参考。该方法用于截面表面表征，该表面表征需要在每个相移中获取的干扰数据要进行数字化。

每个增量是运动的很小一部分，仅通过纳米来调节参考表面。每次更改参考时，干涉仪都会捕获新的数据框架。完成后，将创建完整的3D图像，显示确定的表面高度或波前误差。

Fizeau干涉仪通常用于测试表面图，平面度和诸如光学平面等组件的平行性。通常，将制造的镜头或镜子与具有所需形状的参考材料进行比较。这是通过使用光束分离器将光束从激光源分开的。

参考光束针对高质量的表面，而测试梁则针对测试表面，或者通过测试光学元件，然后将其定向到反射镜上。当反射的光束通过梁分离器返回时，它们会在传感器或相机处重组。这会产生一种干扰模式，这是由于两个不同激光束在每个不同表面反射时的相位差异。

摄像机将此信息记录为单个测量框架。可以组合几个测量框架，以测量测试表面上每个点的高度，或测量由光束穿过光学的波束引起的波前变化。波前测量用于确定光学组件或系统的光学质量。使用方法（例如相移）获取多个数据帧。

Twyman-Green干涉仪是一种激光干涉仪，用于测试光学组件，组件，系统和光学级机械表面。

它是迈克尔逊干涉仪的变体。测试涉及测量表面形状和传输波前质量。

它们的工作原理类似于Fizeau干涉仪，在该干涉仪中，光源产生的光束是由光束分离器分为两部分的光束。每个光束都向各自的表面传播，重新组合形成干扰模式。

Twyman-Green干涉仪的一个特别优点是它可以根据其紧凑的设计在小位置进行测量的能力，尽管位置难以到达，但仍可轻松定位。Twyman-Green干涉仪非常适合测量更大的凹面光学元件，焦点光学系统，非球形光学或镜头以及移动系统，例如自适应光学和柔性膜。

PSI受到对振动的敏感性的限制，并且经常将其从商店的地板上移入计量实验室进行控制测量。相位转移需要顺序调整，该调整的曝光时间足够长，使干涉仪无意中地拾取了发生的任何振动。

这降低了所采用的测量的准确性。为了打击商店地板的机械干扰，使用了动态干涉仪，因为它们不受大多数​​噪音和振动问题的影响。

这些仪器同时采用所有测量数据，从而在忙碌的环境中获得准确的读数。动态干涉仪使得在四个快速移动中捕获图像成为可能，而曝光时间非常短。这允许单帧，可衡量的记录。

白光干涉仪依靠白光，而不是激光源。它通常用于使用与迈克尔逊干涉仪相同的原理测量对象的表面粗糙度。

使用光束分离器，将光分为两个单独的光束，与测试对象和参考对象相互作用，类似于Fizeau干涉仪。光束重组，在反射物面表面后通过传感器摄像机形成图像，最终创建干涉模式。该现象用于测量测试表面的粗糙度以及其他截面形貌，包括波浪状。

白光干涉仪能够在宽FOV上测量具有子纳米精度的对象。与其他干涉方法相比，白光干涉法是古老的，但是，白光的使用可以消除使用激光源时存在的杂质边缘和斑点等连贯噪声，以及使用单色时存在的高度歧义干涉法。

视觉扫描干涉法（VSI）或相干扫描干涉法（CSI）是在干涉测量过程中使用白光作为光源时应用的技术的一个示例。VSI可用于对具有较大步进高度的样品进行高分辨率测量。